棋盘光栅是一种由固定大小的液晶像素交替偏转构成的二维0-pi相位光栅元件，其中“0-pi相位光栅”是指元件表面对特定波长的激光形成0-pi交替结构均匀排布的相位调制。因为整个光栅形似棋盘格，故称之为棋盘光栅。
图1.棋盘光栅示意图。从宏观出射效果上来看，主要衍射级次为方形分布的四个光斑。图2为测量线偏振光正入射至棋盘光栅的衍射光斑能量的光路图。图2.棋盘光栅衍射光斑能量测量光路。
衍射光斑能量主要集中在衍射正负一级，强度分布较为均匀（不均匀性20%），零级光斑衍射能量小于千分之一，即：由于棋盘光栅特殊的二值化对称性结构，导致其对于微小结构误差非常敏感。当结构随机偏差在5μm量级时，衍射图样上的相邻光斑之间会存在一定的连线，如图3所示。
图3.结构随机偏差5μm时的衍射光斑仿真图（左）和实拍图（右）。
LBTEK棋盘光栅利用光配相技术在玻璃基底表面制作0-pi相位交替排列的液晶聚合物薄膜，并通过精确控制液晶聚合物的厚度来操控o光和e光的光程差为工作波长的半整数倍，可以做到接近理论仿真的衍射效率（理论衍射效率为65.6%，实际衍射效率大于60%），且其有效衍射分布之间无连线。图4为偏光显微镜下的相位结构图、实际光斑以及光束质量分析仪的实测图像。图4.LBTEK棋盘光栅相位结构（左）、出射光斑（中）和光斑质量（右）。根据其光学特性，棋盘光栅多用于微表面形貌测量，棋盘光栅的引入可实现被测表面两个正交方向斜率的同时测量，并藉此通过一组变形的出射光信息来重构被测表面形貌。LBTEK提供标准棋盘光栅参数如下：
光学元件材质：液晶聚合物/N-BK7窗口片（带增透膜）
直径：25.4mm
通光孔径：10mm×10mm
厚度：3.2mm
工作波长：nm、nm、nm
延迟量：λ/2±λ/
延迟量均匀性（RMS）：±5nm
入射角度（AOI）：±15°
零级光强占比：0.1%
像素尺寸：27μm、36μm
方位角偏差：±1°
整体结构误差：2μm
一级强度分布：60%
不均匀度：20%
表面光洁度（划痕/麻点）：60/40
表面平行度：3arcmin
工作温度：-20~60℃
除了标准的棋盘光栅，LBTEK还提供多种定制服务，包括定制特殊玻璃基底、像素尺寸、设计波长等指标，具体定制需求，请联系LBTEK技术支持。关于LBTEK棋盘光栅的更多信息，可点击阅读原文查看~
棋盘光栅的能量利用率由于其结构而受限，对于需要更高利用率的分束应用，推荐尝试DOE分束器，如有需求，请联系专属顾问。
不知道如何查找专属顾问？登录麓邦商城个人中心就能看到啦！预览时标签不可点收录于合集#个上一篇下一篇